电子束束入射固体样品表面会激发哪些信号？它们有哪些特点和用途

电子束入射固体样品表面会激发哪些信号? 它们有哪些特点和用途?~

背散射电子：入射电子被固体样品原子核反弹回来的一部分入射电子。来自样品表层几百纳米的深度范围，它的产额随着原子序数的增大而增大，因此既可以做成分分析，也可以做形貌分析，但分辨率较低，约50-200nm。
二次电子：入射电子束将原子核外电子撞击，使其脱离轨道并离开样品表面。一般在表层5-10nm激发出来，因此很适合显示样品表面形貌，做断口观察。
3.吸收电子：入射电子进入试样，多次弹射后能量损失被样品吸收。吸收电子也可以用作定性的微区成分分析，是因为 吸收电子=入射电子-背散射电子-二次电子，即原子序数大的吸收电子少。
4.透射电子：若样品很薄，部分电子穿过试样成为透射电子。因此，对于薄样，可以利用特征能量损失配合电子能量分析器进行微区成分分析。
5：特征X射线：样品内层电子被入射电子激发后，外层电子会向内层跃迁以填补空位，这时就会释放具有特征能量的X射线。当用X射线探测器探测到微区的特征波长，就可以以此来进行元素判定。
6：俄歇电子：样品内层电子被入射电子激发后，外层电子会向内层跃迁以填补空位，这时如果不发出X射线，就会把空位层的另一电子发射出去，这个被电离的电子就叫俄歇电子，仅适用于做表层1nm左右的成分分析。
更多原理，可以参考《材料分析测试技术》——哈尔滨工业大学出版社。

①背散射电子。背散射电于是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。背散射电子的产生范围深，由于背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。
②二次电子。二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。二次电子来自表面50-500 Å的区域，能量为0-50 eV。它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。
③吸收电子。入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽（假定样品有足够厚度，没有透射电子产生），最后被样品吸收。若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对地的信号。若把吸收电子信号作为调制图像的信号，则其衬度与二次电子像和背散射电子像的反差是互补的。
④透射电子。如果样品厚度小于入射电子的有效穿透深度，那么就会有相当数量的入射电子能够穿过薄样品而成为透射电子。样品下方检测到的透射电子信号中，除了有能量与入射电子相当的弹性散射电子外，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子。其中有些待征能量损失E的非弹性散射电子和分析区域的成分有关，因此，可以用特征能量损失电子配合电子能量分析器来进行微区成分分析。
⑤特征X射线。特征X射线是原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。如果用X射线探测器测到了样品微区中存在某一特征波长，就可以判定该微区中存在的相应元素。
⑥俄歇电子。如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量E不以X射线的形式释放，而是用该能量将核外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。俄歇电子是由试样表面极有限的几个原于层中发出的，这说明俄歇电子信号适用于表层化学成分分析。

1. 背散射电子：入射电子被固体样品原子核反弹回来的一部分入射电子。来自样品表层几百纳米的深度范围，它的产额随着原子序数的增大而增大，因此既可以做成分分析，也可以做形貌分析，但分辨率较低，约50-200nm。

2. 二次电子：入射电子束将原子核外电子撞击，使其脱离轨道并离开样品表面。一般在表层5-10nm激发出来，因此很适合显示样品表面形貌，做断口观察。

3.吸收电子：入射电子进入试样，多次弹射后能量损失被样品吸收。吸收电子也可以用作定性的微区成分分析，是因为 吸收电子=入射电子-背散射电子-二次电子，即原子序数大的吸收电子少。

4.透射电子：若样品很薄，部分电子穿过试样成为透射电子。因此，对于薄样，可以利用特征能量损失配合电子能量分析器进行微区成分分析。

5：特征X射线：样品内层电子被入射电子激发后，外层电子会向内层跃迁以填补空位，这时就会释放具有特征能量的X射线。当用X射线探测器探测到微区的特征波长，就可以以此来进行元素判定。

6：俄歇电子：样品内层电子被入射电子激发后，外层电子会向内层跃迁以填补空位，这时如果不发出X射线，就会把空位层的另一电子发射出去，这个被电离的电子就叫俄歇电子，仅适用于做表层1nm左右的成分分析。

更多原理，可以参考《材料分析测试技术》——哈尔滨工业大学出版社。

1)背散射电子:能量高；来自样品表面几百nm深度范围；其产额随原子序数增大而增多.用作形貌分析、成分分析以及结构分析。
2)二次电子:能量较低；来自表层5—10nm深度范围；对样品表面化状态十分敏感。 不能进行成分分析.主要用于分析样品表面形貌。
3)吸收电子:其衬度恰好和SE或BE信号调制图像衬度相反;与背散射电子的衬度互补。 吸收电子能产生原子序数衬度，即可用来进行定性的微区成分分析.
4)透射电子：透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定.可进行微区成分分析。
5)特征X射线: 用特征值进行成分分析，来自样品较深的区域
6)俄歇电子:各元素的俄歇电子能量值很低；来自样品表面1—2nm范围。它适合做表面分析。

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