pecvd工序流程图
晶圆简介及详细资料
采用选择氧化进行器件隔离时所使用的氮化矽薄膜也是用低压CVD法,利用氨和SiH4 或Si2H6反应面生成的,作为层间绝缘的SiO2薄膜是用SiH4和O2在400--4500oC的温度下形成SiH4+O2-SiO2+2H2或是用Si(OC2H5)4(TEOS:tetra ethoxy silanc)和O2在750oC左右的高温下反应生成的,后者即采用TEOS形成的SiO2膜具有台阶侧面部被覆...
手机液晶模块的生产工艺流程是怎样的
液晶生产工艺流程图(图) ● 通过前玻璃基板\/彩色滤光基板工艺过程形成精确排列的彩色滤光层。 ● 薄膜基板工艺形成薄膜晶体管液晶(TFT)阵列及显示器像素控制所用其它电子元件。每个像素一般对应三个薄膜晶体管液晶(TFT),每个像素控制一个共同构成一个像素的“色点”。薄膜形成工艺采用与半导体制造技术相类似的CVD、Et...
LD CD ⅤCD DⅤD EⅤD 的区别?
1、 VCD是VIDEO COMPACT DISK的缩写，意即视频光碟；CVD是英文CHINA VIDEO DISK的缩写，意即中国人自己的数字光碟；SVCD是英文SUPER VIDEO COMPACT DISK的缩写，简称SVCD，意思是超级VCD；DVD是DIGITAL VIDEO DISK的缩写，意即数码视频光碟。因此VCD、CVD、SVCD、DVD整机对应的中文名称应该都是数字视盘机或...
请问设计制作一个太阳能发电系统,需要用到什么电路知识?
生产过程大致可分为五个步骤:a、提纯过程 b、拉棒过程 c、切片过程 d、制电池过程 e、封装过程。 以单晶硅为例,其生产过程可分为: 工序一,硅片清洗制绒 目的——表面处理: 清除表面油污和金属杂质; 去除硅片表面的切割损坏层; 在硅片表面制作绒面,形成减反射织构,降低表面反射率; 利用Si在稀NaOH溶液中的各向...
关于风力发电技术有哪些具体方面可以作为论文的研究。 最好是直驱式...
工艺原理: 硅烷与氨气反应生成SiN 淀积在硅片表面形成减反射膜。 利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在,促进气体分子的分解、化合、激 发和电离,促进反应活性基团的生成,从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜,远小于其它CVD在700℃～950℃范围 内成膜。
论文的文献综述怎么写?格式是什么?
CVD法所选的反应体系必须满足:(1)在沉积温度下,反应物必须有足够的蒸汽压;(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外,其余必须为气态;(3)沉积物的蒸汽压应足够低,以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上,但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多,...
恒晨导航CVD613B-E读卡死机是什么回事
一。如果读导航卡死机，一般都是导航地图数据问题，重新作图一般都解决。二。读媒体卡死机，要先看下你卡里的内容是什么，是音频MP3？还是视频？卡本身的质量问题，媒体文件，文件格式都会引起的。要具体分析的。一般的解决办法是把卡重新格式化后重新下载媒体文件试一下。三。卡座本身松动问题。最后问下你...
求“浅谈激光加工技术在模具制造中的应用”的毕业论文。。
图1 激光叠加模具制造工艺流程由模具 CAD 和激光切割相结合构成一个完整的模具 CAD\/ CAM 系统 ,实现板料切割的 FMS ,适用于多品种小批量生产。用激光切割的薄板来叠加合成任意三维曲面的制造系统 , 不仅为在塑性加工和模具领域中实行 FMS 提供了思路 , 而且对于内部结构复杂的模具制造 ,如型孔、 中孔体及复杂...
钻石的基本性质有哪些?为什么切工对钻石的品质有很重要的影响?_百度...
1、摩氏硬度为10，为自然界现今已知硬度最高的物质；2、导热性好；3、斥油亲水；4、折射率高。切工对钻石的品质有很重要的影响，切工是“4C”中是唯一可人为影响到的。只有比例合理、相同切面完全一致的钻石，光线折射后较为集中，可呈现出绚丽火彩，可完美体现钻石自然之美。而切工较差的钻石，光线...
高台县依立回答： 你要问的是什么膜层的工艺?不同的膜层所需要的气体不同,工艺差异也很大.
曹军17840441503问： PECVD的具体工艺流程?？
高台县依立回答： http://wenku.baidu.com/view/986e6336ee06eff9aef807ac.html
曹军17840441503问： 求太阳能电池片的工艺流程 - ？
高台县依立回答： 多晶硅太阳能电池片制作工艺,从硅片到电池片的过程,1、清洗制绒,2、扩散制作PN节,3、背腐蚀工艺,4、PECVD镀减反射膜,5丝网印刷、快速烧结、分拣、外观检验,5、包装入库.如果有不明白的,继续问我
曹军17840441503问： 太阳能电池板的工艺流程 - ？
高台县依立回答： 一般都是粗抛-制绒-清洗-扩散-去PSG-清洗-钝化-PECVD-丝网印刷-烧结-分类检测
曹军17840441503问： 请教光伏玻璃生产流程、工艺! - ？
高台县依立回答： 硅片腐蚀清洗与制绒---扩散制结---HF腐蚀---PECVD---丝网印刷---烘干烧结---测试分选---包装入库
曹军17840441503问： 聚苯乙烯的生产工艺流程图 ？
高台县依立回答： 分三个工段 乙炔的制作:桶装或袋装电石经过破碎机破碎后,由皮带机送到电石大贮... 精制后的精乙炔气送往氯乙烯合成转化工序. 氯乙烯的合成:HCL—→HCL缓冲罐...
曹军17840441503问： 晶体硅太阳电池制备的基本工艺? - ？
高台县依立回答： 太阳能电池片的生产工艺流程 分为硅片检测——表面制绒——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等.具体介绍如下:一、硅片检测硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳...
曹军17840441503问： 太阳能电池制作中怎么能够提高并阻 - ？
高台县依立回答： 太阳能电池是PV发电系统中最核心的器件,节能是利用光电转换原理使太阳的辐射光通过半导体物质转变为电能的一种器件,这种光电转换过程通常叫做“光生伏打效应”,因此太阳电池又称为“光伏电池”,用于太阳电池的半导体材料是一...
曹军17840441503问： 太阳能电池硅片制作过程 - ？
高台县依立回答： 太阳能电池根据所用材料的不同,太阳能电池还可分为:硅太阳能电池、多元化合物薄膜太阳能电池、聚合物多层修饰电极型太阳能电池、纳米晶太阳能电池、有机太阳能电池,其中硅太阳能电池是目前发展最成熟的,在应用中居主导地位.============================== 硅棒拉制→硅片切割→绒面制作→P—N结扩散→等离子刻蚀→减反射膜制备→电极烧结
曹军17840441503问： TFT - LCD生产流程 - ？
高台县依立回答： TFT-LCD的制造工艺有以下几部分:在TFT基板上形成TFT阵列;在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及ITO导电层;用两块基板形成液晶盒;安装外围电路、组装背光源等的模块组装. ...
