别再只关注光刻机了,真空蒸镀机了解一下?

作者&投稿:桓妹 (若有异议请与网页底部的电邮联系)
~ 科技日报曾列出了我国35项被“卡脖子”的项目清单,真空蒸镀机便是其中之一,它和光刻机、芯片及操作系统一样,是我国科技发展的重要一环。

真空蒸镀机是什么?它有哪些技术难点?我国目前的发展情况又是如何?本文将围绕这些问题,对真空蒸镀机进行详细介绍。

真空蒸镀技术,又称蒸镀,是一种在真空条件下,通过加热蒸发的方式,使镀膜材料气化,并在基片表面凝聚成膜的工艺方法。这种技术因其成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点,被广泛应用。

真空蒸镀机主要由真空抽气系统和蒸发室组成。真空抽气系统包括(超)高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等,用于保持真空环境。蒸发室则通常由不锈钢制成,内部配有蒸发源、基片和蒸发空间等,以确保蒸镀过程的顺利进行。

真空蒸镀的工艺流程较为复杂,包括加热蒸发、粒子传输、粒子吸附、表面扩散等步骤。加热蒸发主要通过电阻加热、电子束加热、高频感应加热、电弧加热和激光加热等五大类方式完成。

OLED屏的生产离不开真空蒸镀机。目前市场上使用的OLED屏,在制作过程中几乎都需要使用到真空蒸镀机,它能够将发光材料精准“蒸发”在屏幕面板上,使屏幕面板能够感知到光,接受外界图像信息。

真空蒸镀机的发展历程中,我国已经取得了显著的成果。2019年,江苏集萃有机光电技术研究所有限公司联合苏州方升光电股份有限公司、苏州大学李述汤院士团队,历经三年协作,成功打造了国内首条自主设计的OLED照明G2.5代量产线。2020年,“中山凯旋”、“合肥欣奕华”、“合肥莱德”等企业先后研发出真空蒸镀机。2021年,合肥欣奕华自主研发的国内首台硅基蒸镀机成功导入客户量产线并完成全彩点亮,国内蒸镀机跻身世界科创舞台的中央。


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佛坪县17398914068: 想购买真空镀铝膜机 -
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