半导体工艺-后段制程工艺-Y21

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在半导体制造的精密旅程中,晶圆测试是关键的一环,它就像一个严格的质量把控哨卡。探查不良品的神秘之旅——这就是晶圆测试(Probing,CP测试)的实质。即使前道工序尽善尽美,晶圆上的芯片也可能隐藏着瑕疵。测试的目的是剔除这些“不合格”的芯片,确保进入后段制程的每一片芯片都是经过严格筛选的“好兵”。通过专用的探针台,探针卡上的一根根导电探针对每个LSI芯片的焊盘进行测试,就如同给芯片颁发一个“已知良品”(KGD)的通行证,标记出它们的品质。


数量与效率的较量:在晶圆上,有效芯片的数量直接决定了能从一张晶圆中获取的芯片总数。晶圆的圆形与芯片的方形形成鲜明对比,边缘的浪费是不可避免的。因此,芯片制造区域通常以最宽的区域为准。减小芯片尺寸,就像在有限空间中塞入更多珍珠,目标就是最大限度地提高单位面积的芯片产出。


而减薄工艺,则是迈向封装的轻盈之旅。在封装过程中,晶圆的厚度并不需要维持前段制程的原始状态,而是通过背面减薄到预设的规格。比如,将300mm晶圆减薄至100~200um,这不仅降低了封装时的厚度,也让后续工艺更高效。减薄工艺利用金刚石磨粒的砂轮进行精细“切割”,确保晶圆表面在过程中得到妥善保护。


切割的艺术:为了将这些经过精挑细选的芯片分离出来,划片工艺登场。首先,将减薄后的晶圆粘贴在划片胶带上,防止切割时产生散落。划片刀,一种由金刚石颗粒强化的硬质材料制成,以高速旋转切割,每分每秒都在与硅片进行一场无声的较量。切割过程中,水压和二氧化碳的混合物起到了冷却和防止静电干扰的作用,确保了切割的精度和完整性。


最后,半切割与全切割的选择:半导体行业倾向于全切割,因为这能减少工艺步骤,提高质量控制的效率。全切割虽看似风险更高,但通过在晶圆表面贴胶带,实际上可以有效地防止芯片在切割后散落,确保每个芯片都能完好地“出生”。


整个后段制程,从晶圆测试到减薄,再到划片,每一步都像精密的乐章,确保了每个芯片都能在质量的乐章中奏出美妙的旋律。这是一场半导体制造的华丽冒险,每一个环节都不可或缺,共同塑造出高质量的芯片产品。




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金阳县18457822319: 制程工艺指得是芯片上的什么 ?制程工艺以什么来进行对比? -
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