(五)扫描电子显微镜

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扫描电子显微镜的工作原理~

扫描电子显微镜的工作原理:
扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。

扩展资料:
研发历程:
1873 Abbe 和Helmholfz 分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。
1931德国物理学家Knoll 及Ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。
1938 第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne 发展成功。
1959年第一台100KV电子显微镜 1975年第一台扫描电子显微镜DX3 在中国科学院科学仪器厂(现北京中科科仪技术发展有限责任公司)研发成功。
参考资料来源:百度百科——扫描电子显微镜

(C)(D)
扫描电子显微镜,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。正因如此,根据不同需求,可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。

1.基本原理

扫描电镜的电子枪发射出电子,经加速电压加速、磁透镜聚焦后,形成直径小于10μm的电子束,与样品相互作用,激发出二次电子、背散射电子、X射线、俄歇电子、阴极发光、透射电子等信号。再通过探测器获得相应的信号,形成矿物的形貌像、组分像等图像。此外可对含量达10-3以上的元素(B-U)进行准确的分析。

2.样品要求

(1)选送的样品应具有代表性。

(2)样品中磁性矿物的含量较低,否则会影响图像质量和能谱分析结果。

(3)样品不能含水,否则会影响图像质量和能谱分析结果。

(4)以成分测试为主的样品须表面平整、镜面抛光,以确保分析测试结果准确;对于形貌观察则只需取新鲜断面。

3.地质应用

(1)矿物物相研究:扫描电镜的二次电子图像可清晰呈现矿物特征的形貌,例如,高岭石呈假六方片状、假六方板状,埃洛石呈管状、圆球状,绿泥石呈六角板状。进而为矿物的成因、岩石的成岩环境及地球化学背景提供依据。

(2)岩石的组构特征:扫描电镜可观察到超微化石、微孔隙/裂隙的形态及相互间的相关关系。藻类和细菌等小于1μm的超微化石的细节在扫描电镜下能有清晰的展示,如:孢子囊、藻管在电镜下都清晰可见;纳米/微米孔隙的形态特征能清晰的观察,例如油页岩中的纳米孔隙的形态特征清晰可见。进而为地层的划分、储层的评价提供依据。




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