当前洁净室工程中推荐气流速度的参考值是否需要更新?

作者&投稿:沈可 (若有异议请与网页底部的电邮联系)
~ 在无尘洁净室的实践中,面临着多方面的热点问题,其中涉及气流速度的确定和相关推荐值的应用。

首先,确定气流速度时,需考虑多种因素:室内污染源,如建筑物、人员活动、工艺设备和材料等,都是影响洁净度的关键。单向流要求均匀流线,但受设备布置和人员活动影响,可能导致局部涡流;非单向流则需要混合气流,避免死角和温度分层。此外,自净时间的控制,即在突发污染或中断气流时,恢复洁净度所需的时间,也与气流速度密切相关。过滤器效率的提高,可以通过选择不同效率的过滤器来调整气流速度,以达到节能目的。同时,经济性和洁净度要求也需综合考虑,过度的气流速度可能带来不必要的投资和运行成本。

推荐或参考值的选用通常是基于规范和指南,如ISO14644-4,但对于具体应用,这些值可能过于保守。一些研究认为,合理的气流速度在0.05~0.1m/s即可有效去除污染物,而过高的速度反而可能产生涡流,导致再卷入。末级过滤器效率的提升,特别是对低发尘量环境,其对洁净度的影响值得特别注意。

尽管有实验数据支持更新的推荐值,如IEST提出的下限有所降低,但具体情况仍需结合室内尘源控制和过滤器效率进行综合分析。例如,对于一些IC工厂的ISO5级洁净室,采用ULPA过滤器,即使在推荐值的下限,如0.095m/s的平均气流速度下,也可能适用于低发尘量的工艺环境。

总的来说,无尘洁净室的气流速度确定是一个需要细致分析和灵活调整的过程,需综合考虑各种因素,确保既能达到洁净度要求,又能实现经济性和效率的最佳平衡。


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