半导体设备系列-光刻机
半导体设备系列——光刻机是半导体工业中的“皇冠”。
1、原理
光刻是指光刻胶在特殊波长光线或者电子束的作用下发生化学变化，通过后续曝光、显影、刻蚀等工艺过程，将设计在掩膜版上的图形转移到衬底上的图形精细加工技术。激光器作为光源发射光束，经过光路调整后，光束穿透掩膜版及镜片，经物镜补偿光学误差，将图形曝光在带有光刻胶的硅晶圆上，然后显影在硅片上。
2、发展历程
光刻机发展至今，已经历了5代产品的迭代。在1985年之前，第一代光刻机光源以436nm的g-line汞灯光源为主，只适用于5μm以上制程；之后出现了365nm的i-line汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了350-500nm。第三代为扫描投影式光刻机，光源改进为248nm的KrF氟化氪准分子深紫外光源，实现了跨越式发展，将最小工艺推进至150—250nm。
第四代为步进式投影式光刻机，采用193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源，可实现制程推进到了65—130nm。第五代为EUV光刻机，选取了新的方案来进一步提供更短波长的光源。
3、市场
目前全球光刻机市场被荷兰的ASML，日本的Canon、Nikon所垄断，因此统计三家数据便可代表整个行业状况。当前，中国也有了自己制造的光刻机，但是和国外龙头技术水平差距很大。上海微电子装备股份有限公司（SMEE）通过积极研发已实现 90nm 节点光刻机的量产，使用ArF光源，可满足90nm及以上制程。国产光刻机正向下一个技术节点寻求突破。
4、产业链
光刻机产业链主要包括上游核心组件及配套设备、中游光刻机生产及下游光刻机应用三大环节。光刻机技术极为复杂，在所有半导体制造设备中技术含量最高。
5、光刻机国产化
在华为被美国芯片限制之后，光刻机国产化为热门话题。然而光刻机的国产化并不是一朝一夕就能完成的任务。光刻机是一个非常复杂的系统，是多种精密技术的集合，几乎每个细分领域，需要行业顶级供应商携手合作来完成。光靠一两家公司闭门造车，不可能完成光刻机的研发。
国内在光刻机核心组件和配套设施也涌现出了一批优秀企业，包括双工作台厂商华卓精科、光源系统厂商福晶科技、光刻胶厂商南大光电和容大感光等。虽然“道阻且长”，光刻机的诸多零部件、原材料被卡脖子；然而“行则将至”，通过不断的培育人才、完善产业链，相信终有一日可以实现突破！
推进半导体技术发展的五大趋势
过去几十年,全球半导体行业增长主要受台式机、笔记本电脑和无线通信产品等尖端电子设备的需求,以及基于云计算兴起的推动。这些增长将继续为高性能计算市场领域开发...在7nm技术节点上引入了极紫外(EUV)光刻,可在单个曝光步骤中对一些最关键的芯片结构进行了设计。在5nm技术节点之外(即关键线后端(BEOL)金属节距低于28-3...
什么是半导体?
半导体是一种特殊的物质，其导电性能介于导体和绝缘体之间，可以在一定条件下控制电流的流动。它是现代电子技术的基础，应用于各种各样的电子设备中。半导体行业的核心任务包括晶圆的制作、薄膜沉积、光刻、蚀刻以及掺杂技术的运用。这些技术使得半导体能够根据不同的需求制作出不同功能的集成电路（IC）、二...
大家平时都是怎样买芯片的?
普通人是不用买芯片的，普通人一般都买成品，如手机，电脑，电视里都有芯片，只有厂家才需要采购芯片的。
什么是半导体?
对晶圆表面进行改造的办法就是光刻！光刻那不是要用到高端光刻机？听说这种设备很牛逼….不如先看看光刻的原理：利用高速旋涂设备(spinner)，在晶片表面旋涂一层对紫外(UV)光敏感的材料，称为光刻胶(photoresist)。将晶片从旋涂机拿下之后在80ºC 100ºC之间烘烤，以驱除光刻胶中的溶剂并...
半导体材料龙头股票有哪些
5、湿电子化学品：江化微、晶瑞股份、巨化股份、上海新阳；江化微是龙头，份额最大，2020年产能增加四倍，晶瑞股份主营锂电池方面。6、CMP抛光材料：安集科技、鼎龙股份、江丰电子；CMP抛光液龙头是安集科技，CMP抛光垫是鼎龙股份和江丰电子竞争。7、金属靶材：江丰电子；导体用的靶材目前只有江丰电子。8、...
仙童公司(Fairchild半导体公司)的八天才是哪八位?
由于产品非常畅销,他在1936年将公司一分为二,而其中生产照相机和电子设备的就是仙童摄影器材公司。当“八叛逆”向他寻求合作的时候,已经60多岁的费尔柴...他们首先把具有半导体性质的杂质扩散到高纯度硅片上,然而在掩模上绘好晶体管结构,用照相制版的方法缩小,将结构显影在硅片表面氧化层,再用光刻法去掉不需要的...
芯片也就是集成电路吗?
芯片是半导体元器件产品的总称。是集成电路(IC，完整的电路)载体，其由晶片分割。硅片是一小片包含集成电路的硅，是计算机或其他电子设备的一部分。2.半导体(半导体)是指室温下电导率介于导体和绝缘体之间的材料。它广泛应用于半导体收音机、电视机和温度测量。例如，二极管是由半导体制成的器件。半导...
芯片是什么导体 芯片的主要制造材料是什么
2、芯片，又叫做微芯片或者集成电路，英文代称为IC，是指内含集成电路的硅片，通常体积很小。一般情况下，芯片泛指所有的半导体元器件，是在硅板上集合多种电子元器件实现某种特定功能的电路模块，是电子设备中最重要的部分，承担着运算和存储的功能。3、而半导体指常温下导电性能介于绝缘体与导体之间的...
半导体封装,半导体封装是什么意思
从三极管时代的插入式封装以及20世纪80年代的表面贴装式封装，发展到现在的模块封装，系统封装等等，前人已经研究出很多封装形式，每一种新封装形式都有可能要用到新材料，新工艺或新设备。驱动半导体封装形式不断发展的动力是其价格和性能。电子市场的最终客户可分为3类：家庭用户、工业用户和国家用户。家...
为什么说7nm是半导体工艺的极限,但现在又被突破了?
栅长越短，则可以在相同尺寸的硅片上集成更多的晶体管——Intel曾经宣称将栅长从130nm减小到90nm时，晶体管所占得面积将减小一半；在芯片晶体管集成度相当的情况下，使用更先进的制造工艺，芯片的面积和功耗就越小，成本也越低。栅长可以分为光刻栅长和实际栅长，光刻栅长则是由光刻技术所决定的。
甘泡双黄： 刻蚀相对光刻要容易.光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分.“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶...
宿豫区18475164146： 光刻机是生产CPU的么 - ？
甘泡双黄： 光刻机是生产CPU的重要设备,但是并不是只能用于生产CPU. 实际上,光刻机是半导体工艺非常重要的生产设备,用于将理论设计的电路制作到真实的Si级片上,并最终获得集成电路. 所有大规格和超大规模集成电路,都会使用到光刻机,这其中当然包括CPU,也包括GPU,单片机芯片等等各种半导体芯片. 有兴趣,百度百科的相关词条,有更详细的内容供参考.
宿豫区18475164146： 半导体芯片生产设备都有什么 - ？
甘泡双黄： 光刻机的主流应该是NIKON;Coater\Develop的主流应该是 TEL和DNS.
宿豫区18475164146： 光刻机怎么制作(最好提供图文)? - ？
甘泡双黄： 第一步:制作光刻掩膜版(Mask Reticle) 芯片设计师将CPU的功能、结构设计图绘制完毕之后,就可将这张包含了CPU功能模块、电路系统等物理结构的“地图”绘制在“印刷母板”上,供批量生产了.这一步骤就是制作光刻掩膜版.光刻...
宿豫区18475164146： 半导体芯片生产设备都有什么？
甘泡双黄： 单片机
宿豫区18475164146： 制造半导体生产设备的设备是用什么制造出来的? - ？
甘泡双黄： 单晶炉,外延炉,扩散炉,集成电路测试仪,光刻机,晶圆挑片机,晶圆举片机,X射线单晶定向仪,超声波铝丝焊接机,超声波金丝球焊接机,中束流离子源,镀膜机,清洗机,蚀刻机,刺晶座你去查一下这些设备就大概知道了.
宿豫区18475164146： 光刻工艺的原理是什么? - ？
甘泡双黄： 光刻工艺是利用类似照相制版的原理,在半导体晶片表面的掩膜层上面刻蚀精细图形的表面加工技术.也就是使用可见光和紫外光线把电路图案投影“印刷”到覆有感光材料的硅晶片表面,再经过蚀刻工艺去除无用部分,所剩就是电路本身了....
宿豫区18475164146： 国内哪些半导体封装设备企业比较好? - ？
甘泡双黄： 赛可比较好,也拿到大基金,而且这几年技术发展确实挺快.光刻机他们也在做.光刻机是用处特别广泛的,半导体基本上就是光刻.像TI,Intel 还有Infineon,都是自己做的封装.赛可的封装都是自己做的,是世界一流的技术.
宿豫区18475164146： 欧美发达国家有哪些半导体知名设备公司? - ？
甘泡双黄： 截止2010全球排名前十位的半导体制造商如下:Applied Materials ASML Tolky Electron Lam Research KLA-Tencor Dainippon Screen Novellus Systems Varian Nikon Hitachi High-Tech 其中Novellus Systems已于2011年年底被Lam Research收购,而Varian早在2011年5月,被Applied Materials收购.希望能给予参考
宿豫区18475164146： 哪里有光刻设备啊？
甘泡双黄： 半 导 体 商 城 上 面 品 牌 很 齐 全 的,质 量 也 很 不 错 的,
