光刻机是什么

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光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.

Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);

在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

扩展资料:

光刻相关介绍:

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。

在传统光学光刻技术逼近工艺极限的情况下,电子束光刻技术将有可能出现在与目前193i为代表的光学曝光技术及EUV技术相匹配的混合光刻中,在实现10nm级光刻中起重要的作用。

应该提到的是电子束曝光技术是推动微电子技术和微细加工技术进一步发展的关键技术,在微电子、微光学和微机械等微系统微细加工领域有着广泛的应用前景,而且除电子束直写光刻技术本身以外,几乎所有的新一代光刻技术所需要的掩模制作还是离不开电子束曝光技术。

参考资料来源:百度百科-光刻

参考资料来源:百度百科-光刻机




什么是光刻机
1、光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术。可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位。光刻机,是制造芯片的机器。要是没有了光刻机,我们就没有办法造出芯片,自然也就不会有我们现在的手机、电脑了。2、光刻机是用于芯片制造的核心设备,按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机...

什么是光刻工厂和光刻机?
2、光刻机是光刻工厂中的一种关键设备。它是一种利用光源和光刻胶将电路图案投射到硅片上的设备。光刻机通常由光源、光刻胶、掩膜、镜头等部件组成。光刻机的主要作用是将设计好的电路图案通过光的照射和光刻胶的光敏性质转移到硅片上,形成准确的电路结构。光刻机主要厂商及品牌 光刻机是生产大规模...

光刻机是什么?
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System。是指在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。并不是单纯的激光,其曝光系统基本上使用的是复杂的紫外光源...

什么是光刻机工作原理是什么
2. 光刻机是芯片制造过程中的核心设备,根据其应用领域,可以分为生产芯片的光刻机、用于芯片封装的光刻机以及用于LED制造的投影光刻机。3. 全球范围内,能够生产光刻机的企业为数不多,其中最为著名的是荷兰的ASML公司。ASML是一家市值高达900亿美元,员工总数超过16,000人的企业。在这16,000名员...

光刻机是什么
光刻机是一种用于制造微纳电子器件的关键设备。它是集成电路制造中不可或缺的一部分,用于在硅片上精确地刻画出电路图案。光刻机的主要功能是通过光学系统,将设计好的电路图案投射到硅片上,并通过一系列复杂的工艺步骤实现电路的精确制造。它在微电子工业中发挥着至关重要的作用,直接影响着集成电路的...

什么是光刻机?
回购光刻机指的是中国芯片企业要求ASML回购已经购买的700台光刻机。光刻机,又名掩模对准曝光机、曝光系统等,是制造芯片的核心装备。光刻机采用类似照片冲印的技术,能够把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。ASML是全球领先的半导体设备制造商,其先进的光刻机技术被广泛应用于芯片制造过程...

什么是光刻机?一台光刻机可以制造多少芯片?
光刻机是生产手机芯片的重要机器之一。目前,只有少数国家可以生产光刻机,只有荷兰ASML公司可以生产高精度光刻机,而且荷兰ASML公司垄断了全球高精度光刻机80%以上的市场份额。目前,一台光刻机的成本高达上亿美元,而一台光刻机一年的产能最多只有几台,光刻机是目前世界上最尖端的设备技术之一,而一...

光刻机是什么东西?
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率...

光刻机是干什么用的
光刻机是非常复杂的机械,目前最厉害的光刻机生产商就是荷兰的ASML,他们现在已经能够生产刻出5nm线路的光刻机了。光刻机的分类 光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动。手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度不高。半...

光刻机是干什么用的
光刻机是芯片制造流程中,光刻工艺的核心设备。光刻机(Mask Aligner),又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。其分为两种,一种...

湖州市19188942885: 光刻机(掩模对准曝光机) - 搜狗百科
绪秆强斯: 光刻机/紫外曝光机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等.常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序.Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程.

湖州市19188942885: 光刻机是哪个国家生产的?
绪秆强斯: 在全球高端光刻机市场,荷兰达到全球领先水平,荷兰ASML公司占据着全球80%的市场份额,几乎处于垄断地位.除了荷兰,日本、中国也可以制造光刻机,日本的代表企业是尼康和佳能,中国的代表企业是上海微电子(SMEE).光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有1.2亿美金一台的光刻机.高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造.国外品牌主要以荷兰ASML,日本Nikon和日本Canon三大品牌为主.

湖州市19188942885: 光刻机是生产CPU的么 -
绪秆强斯: 光刻机是生产CPU的重要设备,但是并不是只能用于生产CPU. 实际上,光刻机是半导体工艺非常重要的生产设备,用于将理论设计的电路制作到真实的Si级片上,并最终获得集成电路. 所有大规格和超大规模集成电路,都会使用到光刻机,这其中当然包括CPU,也包括GPU,单片机芯片等等各种半导体芯片. 有兴趣,百度百科的相关词条,有更详细的内容供参考.

湖州市19188942885: 世界上最精密的仪器是什么? -
绪秆强斯: 光刻机是一种曝光工具,这是光刻工程的核心部分,其造价昂贵,号称世界上最精密的仪器,目前世界是已有7000万美金的光刻机.光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,到现在全世界也不过两三家公司能够制造而已.

湖州市19188942885: 光刻机和刻蚀机的区别 -
绪秆强斯: 刻蚀相对光刻要容易.光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分.“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶...

湖州市19188942885: 光刻技术的原理是什么? -
绪秆强斯: 光刻工艺是利用类似照相制版的原理,在半导体晶片表面的掩膜层上面刻蚀精细图形的表面加工技术.也就是使用可见光和紫外光线把电路图案投影“印刷”到覆有感光材料的硅晶片表面,再经过蚀刻工艺去除无用部分,所剩就是电路本身了....

湖州市19188942885: 光刻机的分类 -
绪秆强斯: 光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动 A 手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了; B 半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐; C 自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要,恩科优的NXQ8000系列可以一个小时处理几百片wafer.

湖州市19188942885: 光刻机中国能造吗?
绪秆强斯: 暂时不能光刻机不是一项单一的技术,而是现代各项高科技技术的集成,成品背后需要无数的产业链支持,以中国现在的科技水平暂时还不能造出.当中国专家去荷兰阿斯...

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