有关LCD的制造过程

作者&投稿:点杨 (若有异议请与网页底部的电邮联系)
TFT-LCD生产流程~

TFT-LCD的制造工艺 TFT-LCD的制造工艺有以下几部分:在TFT基板上形成TFT阵列;在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及ITO导电层;用两块基板形成液晶盒;安装外围电路、组装背光源等的模块组装。 1. 在TFT基板上形成TFT阵列的工艺 现已实现产业化的TFT类型包括:非晶硅TFT(a-Si TFT)、多晶硅TFT(p-Si TFT)、单晶硅TFT(c-Si TFT)几种。目前使用最多的仍是a-Si TFT。 a-Si TFT的制造工艺是先在硼硅玻璃基板上溅射栅极材料膜,经掩膜曝光、显影、干法蚀刻后形成栅极布线图案。一般掩膜曝光用步进曝光机。第二步是用PECVD法进行连续成膜,形成SiNx膜、非掺杂a-Si膜,掺磷n+a-Si膜。然后再进行掩膜曝光及干法蚀刻形成TFT部分的a-Si图案。第三步是用溅射成膜法形成透明电极(ITO膜),再经掩膜曝光及湿法蚀刻形成显示电极图案。第四步栅极端部绝缘膜的接触孔图案形成则是使用掩膜曝光及干法蚀刻法。第五步是将AL等进行溅射成膜,用掩膜曝光、蚀刻形成TFT的源极、漏极以及信号线图案。最后用PECVD法形成保护绝缘膜,再用掩膜曝光及干法蚀刻进行绝缘膜的蚀刻成形,(该保护膜用于对栅极以及信号线电极端部和显示电极的保护)。至此,整个工艺流程完成。 TFT阵列工艺是TFT-LCD制造工艺的关键,也是设备投资最多的部分。整个工艺要求在很高的净化条件(例如10级)下进行。 2. 在彩色滤光片(CF)基板上形成彩色滤光图案的工艺 彩色滤光片着色部分的形成方法有染料法、颜料分散法、印刷法、电解沉积法、喷墨法。目前以颜料分散法为主。 颜料分散法的第一步是将颗粒均匀的微细颜料(平均粒径小于0.1μm)(R、G、B三色)分散在透明感光树脂中。然后将它们依次用涂敷、曝光、显影工艺方法,依次形成R. G. B三色图案。在制造中使用光蚀刻技术,所用装置主要是涂敷、曝光、显影装置。 为了防止漏光,在RGB三色交界处一般都要加黑矩阵(BM)。以往多用溅射法形成单层金属铬膜,现在也有改用金属铬和氧化铬复合型的BM膜或树脂混合碳的树脂型BM。 此外,还需要在BM上制做一层保护膜及形成IT0电极,由于带有彩色滤光片的基板是作为液晶屏的前基板与带有TFT的后基板一起构成液晶盒。所以必须关注好定位问题,使彩色滤光片的各单元与TFT基板各像素相对应。 3. 液晶盒的制备工艺 首先是在上下基板表面分别涂敷聚酰亚胺膜并通过摩擦工艺,形成可诱导分子按要求排列的取向膜。之后在TFT阵列基板周边布好密封胶材料,并在基板上喷洒衬垫。同时在CF基板的透明电极末端涂布银浆。然后将两块基板对位粘接,使CF图案与TFT像素图案一一对正,再经热处理使密封材料固化。在印刷密封材料时,需留下注入口,以便抽真空灌注液晶。 近年来,随着技术进步和基板尺寸的不断加大,在盒的制做工艺上也有很大的改进,比较有代表性的是灌晶方式的改变,从原来的成盒后灌注改为ODF法,即灌晶与成盒同步进行。另外.垫衬方式也不再采用传统的喷洒法,而是直接在阵列上用光刻法制作。 4. 外围电路、组装背光源等的模块组装工艺 在液晶盒制作工艺完成后,在面板上需要安装外围驱动电路,再在两块基板表面贴上偏振片。如果是透射型LCD.还要安装背光源。

.液晶显示器的结构
一般地,TFT-LCD由上基板组件、下基板组件、液晶、驱动电路单元、背光灯模组和其他附件组成!
彩色TFT-LCD制造工艺流程主要包含4个子流程:TFT加工工艺(TFT
process)、彩色滤光器加工工艺(Color filter process)、单元装配工艺(Cell process)和模块装配工艺(Module process)[1][2]。
图形转移积工艺由淀积、光刻、刻蚀、清洗、检测等工序构成
滤光板加工工艺
(a)玻璃基板 (b) 阻光器加工 (c) 滤光器加工
(d) 滤光器加工 (e) 滤光器加工 (f) ITO淀积
a) 溅射淀积 (b) 清洗 (c) 光刻胶涂覆 (d) 曝光
(e)显影 (f) 湿法刻蚀 (g) 去除光刻胶

液晶面板的主要制造工序:

  1.ARRAY(阵列)工序:

  主要是制造TFT基板及彩色滤光片(CF基板)。

  流程:玻璃清洗-->成膜-->清洗-->光刻胶涂布-->曝光-->刻蚀-->光刻胶剥离-->清洗-->测试

  2. CELL(面板成型)工序:

  将前工序ARRAY制成的TFT玻璃基板与CF玻璃基板经过配向处理、对位贴合后灌入液晶。

  流程:TFT&CF玻璃基板清洗-->配向膜形成-->清洗-->框胶-->间隔散布-->液晶灌注-->对位压合-->切割裂片-->偏光板贴付-->点灯检查

  3 .MODULE(模组构装)工序:

  将CELL工序加工完成的面板与TAB、PCB、背光(BackLight)模组、外框等多种周边零部件进行组装。

  流程:ACF贴片-->IC接合-->涂塑-->背光板框架组装-->环境测试-->检查测试 

  看完FLASH或许大家对液晶的基本构造还不是很理解,那么就仔细看下图,笔者在下文中给大家解释液晶的基本原理。

液晶面板的组成结构

  从上图可以看出液晶面板各部分分离后更像一个多层三明治,了解这些部件的作用前我们先了解一下液晶的基本成像原理。事实上液晶材质本身是不发光的,从上图我们可以看出夹在彩色滤光片(CF基板)和TFT玻璃间的液晶主要是起到类似相机快门的作用,通过施加电压的变化来改变液晶分子的偏转角度进而控制从背光源传送过来的光线通透。再通过彩色滤光片形成拥有色泽和明暗层次感的画面。

液晶面板的基本结构:

  前框:前框是金属或塑胶材质的外框,用来保护LCD的边缘并防止静电放电冲击和加固LCD结构。

  水平偏光片:偏光片是一种只允许某偏振方向的光线才能通过的光学片板,能将自然光转换成直线偏光的光学元件。其作用机制是将直角的入射光线经过水平偏光片后使水平方向的光线通过,另一部分垂直方向的光线则被吸收,或利用反射和散射等作用使其屏蔽。在制作LCD的过程中,必须上下各用一片,并且成交错方向置入,主要用途是在有电场与无电场时使光源产生位相差而呈现敏感的状态,用以显示字幕或图案。

  彩色滤光片:彩色的LCD需要用到彩色滤光片,经由控制IC的信号处理,使得从背光源发射的强光经由彩色滤光片进而产生彩色的画面。彩色滤光片制作在玻璃基板之上,将红,绿,蓝三原色的有机光阻材料制作在每一个像素之内。

  液晶:液态晶体是种特殊物质,除了具有一般固体晶体的变折射特性外,同时又具有液体的流动性,液态分子的排列方向可以通过电场或磁场来控制。

  TFT玻璃:TFT玻璃面板拥有数百万个TFT DECICE和控制液晶区域的ITO(透明导电金属)排列成一个矩阵组成的,因此被称为阵列,FLASH的第一部分就是描述的这一部分的制造过程。

  垂直偏光片:偏光片是一种只允许某方向的光线才能通过的光学片板,能将自然光转换成直线偏光的光学元件。

  驱动IC与印刷电路板:该部分主要功能输出需要的电压至像素,以控制液晶分子的扭转程度。

  扩散片:扩散片的作用是将背光模组射出的光源扩散,并使其亮度均一。

  扩散板:和扩散片的功能类似,为液晶显示器提供一个均匀的面光源。

  胶框:主要是用来固定整个背光模组,放置不当碰撞脏污等对背光板模组功能的损害及影响。

  背光源:因为液晶材质本身不发光,所以必须依靠额外光源来达到显示的功能,光源一般位于液晶显示器面板后方,故称为背光源。

  背板:将背光源,液晶显示器,电路等固定在外框结构架上的设备,它用于LCD的最终组装。

  主控制板:LCD的驱动控制电路板,将影像输入的讯号转为LCD的显示讯号。

  背光模组点灯器:背光模组点灯器是将有电源供应器的直流电压讯号转为高频高压脉冲交流电,并持续点亮背光模组中的冷阴极灯管。



机器太多了,给你简单写几个常用的:
LCD玻璃流水线.LCD玻璃刷洗机.超声波清洗机,红外线干燥机,紫外线脱脂机.鹰眼曝光机.高精度丝网印刷机.
LCD短路测试机(PANNELCHECK).干/湿式撒布机.高温精密无尘烤箱,金相显微镜.
LCD切割机.LCF真空灌液晶机.LCD封口机.LCD半自动裂片机.LCD超声波清洗机.
LCD电测机.POL贴附机.COG IC绑定机.PLASMA脱脂机. TAB IC热压机.热压机.......太多了.
这行业虽说几十年了,技术准入不高,但是资金准入还是很高的!

LCD的成产流程


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林真常乐: 详细不鄹如下:1、前框 2、水瓶偏光片 3、彩色滤镜片 4、液晶 5、TFT玻璃 6、垂直偏光片 7、驱动IC与印刷电路板 8、扩散片、扩散板、9、胶框、背光源、背板 10、主控面板与背光膜组点灯器.够详细了吧.呵呵!!

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林真常乐: 一.工艺流程简述: 前段工位: ITO 玻璃的投入(grading)—— 玻璃清洗与干燥(CLEANING)——涂光刻胶(PR COAT)——前烘烤(PREBREAK)——曝光(DEVELOP) 显影(MAIN CURE)——蚀刻(ETCHING)—— 去膜(STRIP ...

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林真常乐:在切割磨洗后灌晶,一般都有灌晶机的.

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